安川機(jī)械手XU-RCM5020

 

        這臺(tái)安川迷你機(jī)械手XU-RCM5020是用于半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)，投入產(chǎn)線已有多年，現(xiàn)在是機(jī)械手啟動(dòng)不了，需要檢測(cè)故障部件所在。

 

安川機(jī)械手XU-RCM5020

 

安川機(jī)械手XU-RCM5020

 

安川機(jī)械手XU-RCM5020

 

檢測(cè)電機(jī)SCMAH-A3C1A-YB31

 

安川機(jī)械手XU-RCM5020

 

       檢測(cè)輕量組合型諧波減速機(jī)CS-11-50-1U-SP

       輕量組合型諧波減速機(jī)具有高轉(zhuǎn)矩容量、無(wú)齒隙、輸入輸出同軸、單級(jí)同軸可獲得1/30～1/320的高減速比。

 

安川機(jī)械手XU-RCM5020

 

檢測(cè)控制器XU-CM5510

安川機(jī)械手XU-RCM5020

 

       RV減速器的高精度和高負(fù)載能力使其成為精密制造和檢測(cè)設(shè)備的理想選擇，如半導(dǎo)體制造設(shè)備中的氧化爐、涂膠顯影設(shè)備、光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等設(shè)備。